超純水対応ハンディ比抵抗測定機器　一覧

超純水は、半導体製造の洗浄用水や医薬品産業の注射用水、微量分析に用いられるブランク水など、品質を左右する非常に重要な要素として様々な用途で使用されています。超純水はその性質上、静止して保管することができないため、超純水を製造する装置を常時稼働してラインへ供給されます。この超純水製造装置は不純物のない超純水レベルの水質を維持するために定期的に消耗品の交換や計測器のメンテナンスが行われますが、交換作業あるいは配管内の洗浄を行うと水質が低下するため、超純水を使用する際には水質を確認することが大切です。

通常、超純水の水質は超純水製造装置に組み込まれた比抵抗計で管理されますが、末端に供給されている超純水の水質を管理するには不十分な場合があります。超純水対応ハンディ比抵抗計は専用のフローチャンバーが付いており、供給ラインを汚染することなく末端で水質をチェックすることができます。また、超純水製造装置の状態をハンディ計で間接的に確認することでメンテナンス頻度を減らし、安定した供給を維持することにも役立ちます。

超純水対応ハンディ比抵抗計はNISTにトレースされた校正を行い出荷されるため基準計器としてもご使用いただけます。

超純水の水質をワンチェックできます

超純水対応比抵抗計は、大気中の物質が超純水へ溶解することを防ぐためにセンサーにフローチャンバーが付属します。超純水対応の比抵抗センサーは、導電率センサーと異なりフローチャンバーもセンサーの測定部品として必須になるのが特徴です。

フローチャンバーと超純水導入用チューブは汚さないように管理する必要がありますが、超純水以外の水を誤って通水した場合は、必ず超純水を通水して洗浄し、比抵抗値が十分に上がるまでフローチャンバー内の残留イオンを取り除きます。比抵抗が上がりきりましたらチャンバー内を空にした状態で保管します。

超純水対応比抵抗計の校正

超純水対応比抵抗計の校正基準である超純水は、導電率校正用標準液と異なり大気中で取り扱えるものが今現在存在しません。超純水の性質上、大気開放状態では大気中の物質が溶け込んでしまい超純水そのものの比抵抗値が保てないこと、また電極から発生する微量のイオンの影響によって比抵抗値が下がってしまうため密閉静止状態で校正することも困難です。

ほとんどの場合、お客様自身で校正する環境を整えることが難しいことから、T&Cテクニカルでは引き取り校正サービスを提供しています。

国家標準（NIST）にトレースされた校正

T&Cテクニカルの引き取り校正は、通常の測定状態と同じように大気を遮断したループで連続的にイオン交換された流水状態の超純水を用い、連続通水にて行います。また通常の測定と同様にセンサーに超純水を通水するときも大気に触れないようにしておかなければなりません。このため、センサーは付属のフローチャンバーに取り付け、超純水の流路からフローチャンバーの出口までを洗浄し、比抵抗が上昇して安定するまでの時間から電極に汚染がないことを確認した後、校正を実施します。

基準超純水の品質

T&Cテクニカルでは社内に半導体洗浄に対応した超純水製造装置を持っており、30年に渡る国内半導体産業での採用実績を持つ米国フォックスボロー社（現在はシュナイダーエレクトリック社の傘下）が製造する高規格モニター875CR比抵抗計とNISTトレース付き超純水用比抵抗電極871CRを組み合わせた基準計測器を用いて、継続的に安定した基準水質の管理を行っています。

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